傻傻分不清，不是勻膠機都叫旋涂儀

? ?勻膠機顧名思義是一種可以“讓膠液均勻涂敷的機器”。勻膠機是一種常見用于材料薄膜制備工藝的實驗室設(shè)備，它的原理相對比較簡單，利用電機高速旋轉(zhuǎn)時所產(chǎn)生的離心力使得試液或者膠液均勻地涂敷在基底材料的表面。

? ?勻膠機有很多稱謂如：勻膠臺、旋轉(zhuǎn)涂膜機、旋轉(zhuǎn)涂層機或者旋轉(zhuǎn)涂敷機等等，它的英文是 Spin Coater旋轉(zhuǎn)涂膜的意思。

? ?勻膠機既然是科研開發(fā)上制備薄膜材料必備的方法之一。使用者對于該設(shè)備大的期待就在于其能夠“均勻”地涂敷試液或者膠液。通常我們會用均一性和可重復(fù)性來衡量薄膜材料制備的好壞。

? ?國內(nèi)外對于這種勻膠旋涂設(shè)備的發(fā)展呈現(xiàn)出很大的差距。中國國內(nèi)先開展勻膠機研制的單位是中科院微電子所，推出的KW-4A型號的勻膠機，具有低速起步和高速旋轉(zhuǎn)兩個單位。