傻傻分不清，不是勻膠機(jī)都叫旋涂儀

? ?勻膠機(jī)顧名思義是一種可以“讓膠液均勻涂敷的機(jī)器”。勻膠機(jī)是一種常見用于材料薄膜制備工藝的實(shí)驗(yàn)室設(shè)備，它的原理相對比較簡單，利用電機(jī)高速旋轉(zhuǎn)時(shí)所產(chǎn)生的離心力使得試液或者膠液均勻地涂敷在基底材料的表面。

? ?勻膠機(jī)有很多稱謂如：勻膠臺(tái)、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)或者旋轉(zhuǎn)涂敷機(jī)等等，它的英文是 Spin Coater旋轉(zhuǎn)涂膜的意思。

? ?勻膠機(jī)既然是科研開發(fā)上制備薄膜材料必備的方法之一。使用者對于該設(shè)備大的期待就在于其能夠“均勻”地涂敷試液或者膠液。通常我們會(huì)用均一性和可重復(fù)性來衡量薄膜材料制備的好壞。

? ?國內(nèi)外對于這種勻膠旋涂設(shè)備的發(fā)展呈現(xiàn)出很大的差距。中國國內(nèi)先開展勻膠機(jī)研制的單位是中科院微電子所，推出的KW-4A型號(hào)的勻膠機(jī)，具有低速起步和高速旋轉(zhuǎn)兩個(gè)單位。